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1. 원리

검출프로브법은 대기압보다 높은 압력에서 누설시험을 실시하는 경우, 모양이 복잡하여 시험개소를 피복할 수 없는 경우, 가압적분법에서 큰 누설이 있는데 그 누설위치를 찾는 경우 실시한다. 기본적으로 헬륨 질량분석기는 진공 조건하의 누설 시험을 위해 설계되어졌다. 대기 중에서 누설 검사를 위해 스니퍼가 사용될 때 감도는 검사자의 기량과 경험, 시험 경계에서의 압력차, 시험체 내부에서의 헬륨 추적기체 농도, 프로브의 주사속도, 프로브와 시험체 표면과의 거리, 스니퍼 호스의 직경과 길이, 질량 분석기 검지전극 내의 압력, 큰 누설로 인한 공기 중 헬륨 추적기체의 오염, 주변 환경과 같은 요인들로 인해 영향을 받는다.

 

2. 적용 특성

시험체 가압에 적용되는 추적기체의 농도는 시험체 체적의 약 10%로 한다. 스니퍼 호스의 길이는 15ft 미만으로 사용한다. 감도 기준은 최소 1X10∧-8Pa·㎥/s이며, 프로브의 주사방향은 시스템의 최하부에서 시작하여 차례로 위쪽 방향으로 한다. 주사거리는 시험표면과 1/8inch 이내를 유지한다. 교정은 시험 시작 전/중/후 2시간을 초과하지 않는 주기로 한다. 추적기체로 가압 후 최소 30분간 압력을 유지한다. 1X10∧-3Pa·㎥/s을 초과하는 누설이 검출되지 않으면 합격으로 한다. 스니퍼 호스의 길이가 증가될 때 응답시간은 비례적으로 증가한다. 이것은 호스의 용적 증가에 따른 추적기체 보다 큰 희석률 때문이다. 따라서 감도는 호스의 길이와는 반비례 관계에 있다. 100mPa 정도의 검지 전극 내 압력이 최대 누설감도를 위해 사용된다. 질량 분석기 압력이 25mPa 만큼 높아질 수 있지만 검지전극 내의 보다 높은 압력은 필라멘트의 수명을 감소시키고 경우에 따라 필라멘트를 교체하거나 응답을 지연시킨다. 반면 검지전극의 압력이 보다 낮으면 감도를 떨어뜨리는 요인이 된다.

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