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전자 포획법은 할라이드 기체가 갖는 전자들의 유사성을 이용한다. 이 방법은 가열양극 검출기가 갖는 계수의 어려움을 최소화하거나 없앨 수 있다. 보통 질소, 아르곤과 같이 전자 포획 되지 않는 기체의 적은 양은 이 방법에 있어서 배경기체로서 이용되어진다.배경기체는 방사성 물질 트리튬에서 주기적으로 발생되는 자유전자를 이온화하는 검지전극을 통해서 흐른다. 트리튬은 전자 방출에 의해 붕괴되어 12년의 반감기를 가지며 원자량이 3인 헬륨으로 된다. 18kW의 낮은 에너지를 갖는 전자이기 때문에 방사선 차폐는 필요하지 않고 방사능도 검지 전극 내에 잔류하게 된다. 누설검출기 프로브로부터의 공기는 검지전극으로 흡입되어진다. 이 때 공기 중에 할라이드 기체가 포함되어져 있다면 전자 포획이 발생하고 그에 의해서 전극사이에서 전자 전류가 감소된다. 전류의 이러한 감소는 존재하는 할로겐 이온의 농도에 대한 측정치이다. 전자 포획법의 장점으로는 구성 물질에 해가 되는 가열 전극이 없다는 것이다. 이 방법을 기준으로하는 누설 검출기는 대기 중에 존재하는 불순물을 검출하는데 낮은 감도를 갖는다. 일반적으로 할라이드 추적기체를 사용한 전자 포획법의 감도는 가열 양극 기기의 감도와 비슷하고 누설률 설정에 있어서 보다 넓은 범위에 이용되어진다.

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