누설검사 감압법/진공법

1. 절대압력/진공압력

진공은 지표면의 대기에 가해지는 압력과 관계가 있다. 대기압은 해수면 이상의 특별한 위치에서 단위면적 당 가해지는 대기의 무게이다. 고도가 증가 할수록 압력은 절대압력이 0이 될 때까지 점진적으로 감소할 것이다. 만일 밀봉상태에서 내부압력이 대기압보다 작다면 진공상태라고 얘기할 수 있다. 대기압은 기상조건이나 고도에 따라 변하기 때문에 진공에서 게이지 값은 표준조건의 절대압력을 기준으로 하며 절대압력에 비례하여 진공의 정도도 증대되어야 한다. 완전진공은 절대압력이 0이 되는 시기를 말하는데 실제 완전진공은 있을 수 없다.

 

2. 진공압력의 특성

시험체 또는 시스템이 진공화되는 동안 기체입자는 배기 공정에 의해서 점진적으로 제거되어지며 결국 절대압력 0이 얻어질 수 있는 것이다. 누설은 시스템에 사용된 밀봉재의 변형 또는 진공챔버의 벽, 용접부위의 기공, 누설을 통해 보다 높은 외부압력에 의한 기체분자의 이동을 뜻한다. 탈기체는 진공시스템의 재질로부터 발생되는 기체의 모든 형태를 말한다. 이것은 표면에서 흡수되고 재질에 흡착하는 기체들을 포함한다. 따라서 이러한 요인들로부터 기체의 계속적인 발생이 진공시스템의 최종압력에서 나타날 수 있는 단점이 된다.

 

3. 진공감압의 오류

진공 시스템에서는 누설, 또는 다른 이유들 때문에 최종 압력에 도달하는데 실패하는 경우가 있다. 진공시스틈에서 시스템 밖으로부터의 누설보다는 오히려 내부 기체나 증기 등으로 인해 최종 압력에 도달하는데 오랜 시간이 걸린다. 광범위한 누설검사 실시 전에 가능한 한 내부 기체가 검사되고 진공펌프나 게이지의 결점 등을 보완해야만 한다. 탈기체는 내부표면으로부터 기체나 증기의 흡착, 용기벽을 통해 침투하는만큼 진공 시스템에 있어서 재료들의 산화, 증발에 기인된다.

 

4. 누설시험의 조건

진공시스템 작동을 위한 누설검사 방법의 선택은 누설의 크기, 누설 측정 동안 진공챔버 내·외부의 압력, 진공 펌프의 용량, 추적기체의 종류 및 검출능, 진공 시스템의 내부 체적, 허위 누설과 탈기체의 효과, 진공 게이지, 검출기의 감도와 같은 인자들의 영향을 받는다.